Boron triklorida (BCl3)nyaéta sanyawa anorganik anu biasa dianggo dina prosés étsa garing sareng déposisi uap kimia (CVD) dina manufaktur semikonduktor. Ieu mangrupakeun gas teu warnaan jeung bau pungent kuat dina suhu kamar tur sénsitip kana hawa beueus sabab dihidrolisis pikeun ngahasilkeun asam hidroklorat jeung asam boric.

Aplikasi tina Boron Trichloride

Dina industri semikonduktor,Boron trikloridautamana dipaké pikeun etching garing aluminium sarta salaku dopant pikeun ngabentuk wewengkon P-tipe dina wafers silikon. Ogé bisa dipaké pikeun etch bahan kayaning GaAs, Si, AlN, sarta salaku sumber boron dina aplikasi husus tangtu. Sajaba ti éta, Boron trichloride loba dipaké dina ngolah logam, industri kaca, analisis kimia jeung panalungtikan laboratorium.

Kasalametan Boron Trichloride

Boron trikloridanyaeta corrosive sarta toksik sarta bisa ngabalukarkeun karuksakan serius kana panon jeung kulit. Ieu dihidrolisis dina hawa beueus ngaleupaskeun gas hidrogén klorida toksik. Ku alatan éta, ukuran kaamanan luyu kudu dilaksanakeun nalika nangananBoron triklorida, kaasup maké pakean pelindung, kacasoca jeung alat panyalindungan engapan, sarta operasi di lingkungan well-ventilated.