Boron triklorida (BCl3)nyaéta sanyawa anorganik anu umumna dianggo dina prosés etsa garing sareng déposisi uap kimia (CVD) dina manufaktur semikonduktor. Éta mangrupikeun gas anu teu warnaan kalayan bau anu nyeureud anu kuat dina suhu kamar sareng sénsitip kana hawa lembab sabab dihidrolisis pikeun ngahasilkeun asam hidroklorat sareng asam borat.

Aplikasi Boron Triklorida

Dina industri semikonduktor,Boron trikloridautamana dianggo pikeun ngetsa aluminium garing sareng salaku dopan pikeun ngabentuk daérah tipe-P dina wafer silikon. Éta ogé tiasa dianggo pikeun ngetsa bahan sapertos GaAs, Si, AlN, sareng salaku sumber boron dina aplikasi khusus anu tangtu. Salian ti éta, Boron triklorida seueur dianggo dina pamrosésan logam, industri kaca, analisis kimia sareng panalungtikan laboratorium.

Kaamanan Boron Triklorida

Boron trikloridakorosif sareng toksik sareng tiasa nyababkeun karusakan anu serius kana panon sareng kulit. Éta hidrolisis dina hawa anu lembab pikeun ngaleupaskeun gas hidrogén klorida toksik. Ku alatan éta, tindakan kaamanan anu pas kedah dilaksanakeun nalika nangananBoron triklorida, kalebet nganggo pakean pelindung, kacamata pelindung sareng alat pelindung pernapasan, sareng beroperasi dina lingkungan anu ventilasina saé.