Éléktronikgas khususmangrupa cabang penting tina gas husus. Éta nembus ampir unggal tautan produksi semikonduktor sareng mangrupikeun bahan baku anu teu tiasa dipisahkeun pikeun produksi industri éléktronik sapertos sirkuit terpadu skala ultra-ageung, alat tampilan panel datar, sareng sél surya.

Dina téknologi semikonduktor, gas anu ngandung fluorin seueur dianggo. Ayeuna, di pasar gas éléktronik global, gas éléktronik anu ngandung fluorin nyumbang sakitar 30% tina total. Gas éléktronik anu ngandung fluorin mangrupikeun komponén penting tina gas éléktronik khusus dina widang bahan inpormasi éléktronik. Éta utamina dianggo salaku agén beberesih sareng agén ukir, sareng ogé tiasa dianggo salaku dopan, bahan pembentuk pilem, jsb. Dina tulisan ieu, panulis bakal ngajak anjeun pikeun ngartos gas anu ngandung fluorin umum.

Di handap ieu gas anu ngandung fluor anu umum dianggo

Nitrogén trifluorida (NF3): Gas anu dianggo pikeun ngabersihkeun sareng miceun deposit, biasana dianggo pikeun ngabersihkeun ruang réaksi sareng permukaan alat.

Walirang heksafluorida (SF6): Agen fluorinasi anu dianggo dina prosés déposisi oksida sareng salaku gas insulasi pikeun ngeusian média insulasi.

Hidrogén fluorida (HF): Dianggo pikeun miceun oksida tina permukaan silikon sareng salaku etchant pikeun ngetsa silikon sareng bahan sanésna.

Nitrogén fluorida (NF): Dianggo pikeun ngetsa bahan sapertos silikon nitrida (SiN) sareng aluminium nitrida (AlN).

Trifluorometana (CHF3) sarengtetrafluorometana (CF4)Dianggo pikeun ngetsa bahan fluorida sapertos silikon fluorida sareng aluminium fluorida.

Nanging, gas anu ngandung fluor ngagaduhan bahaya-bahaya tertentu, kalebet toksisitas, korosif, sareng gampang kabeuleum.

Toksisitas

Sababaraha gas anu ngandung fluor téh toksik, sapertos hidrogén fluorida (HF), anu uapna ngairitasi kulit sareng saluran pernapasan sareng ngabahayakeun kaséhatan manusa.

Korosivitas

Hidrogén fluorida sareng sababaraha fluorida sipatna korosif pisan sareng tiasa nyababkeun karusakan anu serius kana kulit, panon sareng saluran pernapasan.

Gampang kabeuleum

Sababaraha fluorida gampang kabeuleum sareng meta réaksi sareng oksigén atanapi cai di udara pikeun ngaleupaskeun panas anu kuat sareng gas toksik, anu tiasa nyababkeun kahuruan atanapi ledakan.

Bahaya tekanan tinggi

Sababaraha gas nu ngandung fluorinasi gampang ngabeledug dina tekenan anu luhur sareng meryogikeun perawatan khusus nalika dianggo sareng disimpen.

Dampak kana lingkungan

Gas anu ngandung fluor mibanda umur hirup atmosfir sareng nilai GWP anu luhur, anu gaduh pangaruh anu ngancurkeun lapisan ozon atmosfir sareng tiasa nyababkeun pemanasan global sareng polusi lingkungan.

Panggunaan gas dina widang-widang anyar sapertos éléktronika terus ningkat, mawa seueur paménta énggal pikeun gas industri. Dumasar kana seueurna kapasitas produksi énggal pikeun komponén éléktronik utama sapertos semikonduktor sareng panel tampilan di daratan Cina dina sababaraha taun ka hareup, ogé paménta anu kuat pikeun substitusi impor bahan kimia éléktronik, industri gas éléktronik domestik bakal ngadorong tingkat pertumbuhan anu luhur.