Éléktronikgas hususmangrupa cabang penting tina gas husus. Aranjeunna tembus ampir unggal link produksi semikonduktor sarta bahan baku indispensable pikeun produksi industri éléktronik kayaning sirkuit terpadu ultra-badag, alat tampilan panel datar, sarta sél surya.

Dina téhnologi semikonduktor, gas nu ngandung fluorine loba dipaké. Ayeuna, di pasar gas éléktronik global, gas éléktronik anu ngandung fluorine kira-kira 30% tina total. Gas éléktronik anu ngandung fluorine mangrupikeun komponén penting tina gas éléktronik khusus dina bahan inpormasi éléktronik. Éta utamana dipaké salaku agén beberesih sarta agén etching, sarta ogé bisa dipaké salaku dopants, bahan pilem-ngabentuk, jsb Dina artikel ieu, panulis bakal mawa anjeun ngartos gas fluorine-ngandung umum.

Di handap ieu mangrupakeun gas nu ilahar dipaké fluorine-ngandung

Nitrogen trifluoride (NF3): Gas dipaké pikeun meresihan jeung miceun deposit, biasana dipaké pikeun meresihan kamar réaksi jeung surfaces pakakas.

Walirang heksafluorida (SF6): Agén fluorinating dipaké dina prosés déposisi oksida jeung salaku gas insulasi pikeun ngeusian media insulating.

Hidrogén fluorida (HF): Dipaké pikeun miceun oksida tina beungeut silikon sarta salaku etchant pikeun etching silikon jeung bahan séjén.

Nitrogen fluorida (NF): Dipaké pikeun etch bahan kayaning silikon nitrida (SiN) jeung aluminium nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) jeungtetrafluorometana (CF4): Dipaké pikeun etch bahan fluorida kayaning silikon fluorida jeung aluminium fluorida.

Tapi, gas anu ngandung fluorin ngagaduhan bahaya anu tangtu, kalebet karacunan, korosi, sareng gampang kaduruk.

Karacunan

Sababaraha gas anu ngandung fluorin nyaéta toksik, sapertos hidrogén fluorida (HF), anu uapna ngairitasi pisan kana kulit sareng saluran pernapasan sareng ngabahayakeun pikeun kaséhatan manusa.

Korosif

Hidrogén fluorida jeung sababaraha fluorida kacida korosif sarta bisa ngabalukarkeun karuksakan serius kana kulit, panon jeung saluran pernapasan.

Mudah kaduruk

Sababaraha fluorida téh gampang kaduruk sarta diréaksikeun jeung oksigén atawa cai dina hawa pikeun ngaleupaskeun panas sengit sarta gas toksik, nu bisa ngabalukarkeun seuneu atawa ledakan.

Bahaya tekanan luhur

Sababaraha gas fluorinated ngabeledug dina tekanan luhur sarta merlukeun perawatan husus lamun dipaké tur disimpen.

Dampak kana lingkungan

Gas-gas anu ngandung fluorine gaduh umur atmosfir anu luhur sareng nilai GWP, anu gaduh pangaruh ngancurkeun lapisan ozon atmosfir sareng tiasa nyababkeun pemanasan global sareng polusi lingkungan.

Aplikasi gas dina widang munculna sapertos éléktronika terus deepen, bringing jumlah badag paménta anyar pikeun gas industri. Dumasar kana jumlah badag kapasitas produksi anyar komponén éléktronik utama kayaning semikonduktor jeung panels tampilan di daratan Cina dina sababaraha taun ka hareup, kitu ogé paménta kuat pikeun substitusi impor bahan kimia éléktronik, industri gas éléktronik domestik bakal Usher di. laju tumuwuh luhur.