Gas kamurnian ultra luhur (UHP) mangrupikeun sumber kahirupan industri semikonduktor. Kusabab paménta sareng gangguan anu teu pernah terjadi dina ranté pasokan global nyorong harga gas tekanan ultra-tinggi, desain semikonduktor anyar sareng prakték manufaktur ningkatkeun tingkat kontrol polusi anu diperyogikeun. Pikeun pabrik semikonduktor, tiasa mastikeun kamurnian gas UHP langkung penting tibatan kantos.

Gas Ultra High Purity (UHP) Éta Kritis pisan dina Manufaktur Semikonduktor Modern

Salah sahiji aplikasi utama gas UHP nyaéta inertization: gas UHP dipaké pikeun nyadiakeun atmosfir pelindung sabudeureun komponén semikonduktor, kukituna ngajaga aranjeunna tina épék ngabahayakeun tina Uap, oksigén jeung rereged lianna di atmosfir. Sanajan kitu, inertization ngan salah sahiji loba fungsi béda nu gas ngalakukeun dina industri semikonduktor. Ti gas plasma primér nepi ka gas réaktif dipaké dina etching na annealing, gas tekanan ultra-tinggi dipaké pikeun loba kaperluan béda jeung penting dina sapanjang ranté suplai semikonduktor.

Sababaraha gas "inti" dina industri semikonduktor ngawengkunitrogén(dipaké salaku beberesih umum jeung gas inert),argon(dipaké salaku gas plasma primér dina étsa jeung réaksi déposisi),hélium(dipaké salaku gas inert mibanda sipat mindahkeun panas husus) jeunghidrogén(muterkeun sababaraha peran dina annealing, déposisi, epitaxy sareng beberesih plasma).

Salaku téhnologi semikonduktor geus mekar tur robah, jadi boga gas dipaké dina prosés manufaktur. Kiwari, pabrik semikonduktor ngagunakeun rupa-rupa gas, ti gas mulia kayaningkriptonjeungneonka spésiés réaktif saperti nitrogén trifluorida (NF 3) jeung tungsten héksafluorida (WF 6).

Tumuwuh paménta pikeun purity

Kusabab panemuan microchip komersil munggaran, dunya parantos nyaksian kanaékan éksponénsial anu luar biasa dina kinerja alat semikonduktor. Sapanjang lima taun katukang, salah sahiji cara anu paling pasti pikeun ngahontal paningkatan kinerja sapertos ieu nyaéta ngalangkungan "skala ukuran": ngirangan dimensi konci arsitéktur chip anu tos aya pikeun nyepetkeun langkung seueur transistor kana rohangan anu dipasihkeun. Sajaba ti éta, ngembangkeun arsitéktur chip anyar jeung pamakéan bahan motong-ujung geus ngahasilkeun leaps dina kinerja alat.

Kiwari, diménsi kritis semikonduktor canggih ayeuna jadi leutik sahingga skala ukuran henteu deui cara anu lumayan pikeun ningkatkeun kinerja alat. Sabalikna, peneliti semikonduktor milarian solusi dina bentuk bahan novel sareng arsitéktur chip 3D.

Puluhan taun desain ulang anu teu bosen hartosna alat semikonduktor ayeuna langkung kuat tibatan microchip baheula - tapi aranjeunna ogé langkung rapuh. Munculna téhnologi fabrikasi wafer 300mm geus ngaronjat tingkat kontrol impurity diperlukeun pikeun manufaktur semikonduktor. Komo kontaminasi pangleutikna dina prosés manufaktur (utamana gas langka atawa inert) bisa ngakibatkeun gagalna alat catastrophic - jadi purity gas ayeuna leuwih penting batan kantos.

Pikeun pabrik fabrikasi semikonduktor has, gas ultra-purity luhur geus ongkos bahan pangbadagna sanggeus silikon sorangan. Biaya ieu ngan diperkirakeun ningkat nalika paménta semikonduktor naék kana jangkung anyar. Kajadian di Éropa nyababkeun gangguan tambahan kana pasar gas alam tekanan ultra-tinggi. Ukraina mangrupakeun salah sahiji eksportir panggedena di dunya tina purity tinggineontanda; Invasi Rusia hartina suplai gas langka keur dibatesan. Hal ieu nyababkeun kakurangan sareng harga gas mulia anu langkung luhur sapertoskriptonjeungxenon.