Gas ultra-purity (UHP) mangrupikeun urat nadi industri semikonduktor. Kusabab paménta anu teu acan pernah aya sareng gangguan kana ranté suplai global ngadorong harga gas tekanan ultra-luhur, desain semikonduktor sareng prakték manufaktur énggal ningkatkeun tingkat kontrol polusi anu diperyogikeun. Pikeun produsén semikonduktor, tiasa mastikeun kamurnian gas UHP langkung penting tibatan sateuacanna.

Gas Ultra High Purity (UHP) Penting pisan dina Manufaktur Semikonduktor Modern

Salah sahiji aplikasi utama gas UHP nyaéta inertisasi: Gas UHP dianggo pikeun nyayogikeun atmosfir pelindung di sakitar komponén semikonduktor, sahingga ngajagaan aranjeunna tina pangaruh ngabahayakeun tina Uap, oksigén sareng kontaminan sanés di atmosfir. Nanging, inertisasi ngan ukur salah sahiji tina seueur fungsi anu béda anu dilakukeun ku gas dina industri semikonduktor. Tina gas plasma primér dugi ka gas réaktif anu dianggo dina etching sareng annealing, gas tekanan ultra-luhur dianggo pikeun seueur tujuan anu béda sareng penting di sakumna ranté suplai semikonduktor.

Sababaraha gas "inti" dina industri semikonduktor kalebetnitrogén(dianggo salaku beberesih umum sareng gas inert),argon(dianggo salaku gas plasma primér dina réaksi étsa sareng déposisi),hélium(dianggo salaku gas inert kalayan sipat transfer panas khusus) sarenghidrogén(maénkeun sababaraha peran dina annealing, deposisi, epitaksi sareng beberesih plasma).

Sabot téknologi semikonduktor parantos mekar sareng robih, kitu ogé gas anu dianggo dina prosés manufaktur. Ayeuna, pabrik manufaktur semikonduktor nganggo rupa-rupa gas, ti gas mulia sapertoskriptonjeungneonkana spésiés réaktif sapertos nitrogén trifluorida (NF 3 ) sareng tungsten heksafluorida (WF 6 ).

Paménta anu ningkat pikeun kabersihan

Ti saprak kapanggihna microchip komérsial anu munggaran, dunya parantos nyaksian paningkatan kinerja alat semikonduktor anu ampir éksponénsial. Salila lima taun ka pengker, salah sahiji cara anu paling pasti pikeun ngahontal paningkatan kinerja sapertos kieu nyaéta ngalangkungan "skala ukuran": ngirangan diménsi konci arsitéktur chip anu tos aya pikeun mepetkeun langkung seueur transistor kana rohangan anu dipasihkeun. Salian ti éta, pamekaran arsitéktur chip énggal sareng panggunaan bahan canggih parantos ngahasilkeun lompatan dina kinerja alat.

Ayeuna, diménsi kritis semikonduktor canggih ayeuna alit pisan sahingga skala ukuran henteu deui janten cara anu layak pikeun ningkatkeun kinerja alat. Sabalikna, para panaliti semikonduktor milarian solusi dina bentuk bahan énggal sareng arsitéktur chip 3D.

Desain ulang anu teu kenal cape salami sababaraha dasawarsa hartosna alat semikonduktor ayeuna jauh langkung kuat tibatan microchip jaman baheula — tapi éta ogé langkung rapuh. Munculna téknologi fabrikasi wafer 300mm parantos ningkatkeun tingkat kontrol pangotor anu diperyogikeun pikeun manufaktur semikonduktor. Bahkan kontaminasi sakedik dina prosés manufaktur (utamina gas langka atanapi inert) tiasa nyababkeun kagagalan alat anu dahsyat — janten kamurnian gas ayeuna langkung penting tibatan sateuacanna.

Pikeun pabrik fabrikasi semikonduktor has, gas kalayan kemurnian ultra-luhur parantos janten biaya bahan panggedéna saatos silikon éta sorangan. Biaya ieu diperkirakeun bakal ningkat nalika paménta semikonduktor naék ka tingkat anu langkung luhur. Kajadian di Éropa parantos nyababkeun gangguan tambahan kana pasar gas alam tekanan ultra-luhur anu tegang. Ukraina mangrupikeun salah sahiji eksportir kemurnian tinggi panggedéna di dunya.neontanda-tanda; Invasi Rusia hartosna suplai gas langka ieu diwatesan. Ieu antukna nyababkeun kakurangan sareng harga gas mulia anu langkung luhur sapertoskriptonjeungxenon.