Knribi-tinggi (Uhp) gas mangrupikeun liflour tina industri sememuctor. Salaku pamundut anu teu aya anu teu kapendak sareng unsur kiriman pelacarkeun komputasi harga gas tekanan anu luhur, present Modél anyar sareng prakték manula ningkatkeun tingkat polusi peristiwa pikeun ningkatkeun tingkat polusi. Pikeun produsén semulatror, ​​tiasa mastikeun kasucian gas UHP langkung penting tibatan kantos.

Puritas Ultra (UHP) gas leres pisan kritis dina produsén semulonducer modéren

Salah sahiji aplikasi utama bénsin UHP nyaéta inertipation: UHP anu dianggo pikeun nyayogikeun suasana pelindung, asanyus sareng baku anu ngabahayakeun. Tapi, Inertisasi ngan salah sahiji seueur fungsi anu kaluhur anu dilakukeun dina industri semawa semawa semawa. Ti gas plasma Umur pikeun gas réaksatif dina jangka sareng Anchealing, gas taimén ulatan ularan tinggi ogé pikeun sababaraha titik semikondrorhor.

Sababaraha gas "inti" dina industri semiconduchror kalebetnitrrat(dianggo salaku beberesih umum sareng bénsin umum),Argon(dianggo salaku gas plasma primér dina réaksi etching sareng déposisi),hision(dianggo salaku gas inert sareng fésipasi panas anu khusus) sarenghidrogén(ngulinkeun sababaraha peran dina anenge, déposisi, occoraxy sareng plasma).

Salaku téknologi semawa parantos mekar sareng dirobih, kucara gas anu dianggo dina prosés manufaktur. Dinten ayeuna, pepelakan manifaktur semaminritis nganggo jerona gas, tina gas mulya sapertoskrlioponjeungnadapikeun spésiés refresif sapertos trifluorida nitrogén (nf 3) sareng tungsten héksafulide (wf 6).

Ngembang pamundut pikeun kasucian

Kusabab penemuan tina mikrochip komersil kahiji, Dunya parantos nyiwolongkeun paningkatan anu caket dina kamampuan alat semikonductoror. Sateuacan lima taun katukang, salah sahiji cara perun perang pikeun ngahontal pengbagi kinerja ieu parantos ngaliwat "ukuran sony tuang": ngirangan dimensi konci anu parantos aya deui pikeun rohangan leuleu. Salian ieu, pamekaran pids cakseramifikasi lagu sanés sareng panggunaan bahan anu motong di stapsed dina prestasi alat.

Dinten ayeuna, diménsi kritis tina sarang-oisonduktor motong tét jukut, éta mangrupikeun rada ageung tuang henteu tiasa langkung saé cara anu séhat pikeun ningkatkeun kamampuan alat. Sabalikna, paneliti semiconduchor nyaéta milarian solusi dina bentuk bahan novor sareng arsitéktékter chip 3D.

Depades motret anu henteu hartosna alat semiconductoror langkung kuat tibatan mikrocips kuno - tapi ogé langkung rapuh. Kacuali téknologi lambung 300mm Bahkan jumlah anu paling saeutik dina prosés manufaktur (hususna gas atanapi Inert) tiasa ngakibatkeun gagal gagal bencana - supaya gas ayeuna langkung penting tibatan kantos.

Pikeun pabrik fasily khas, gas ultra-samental parantos biaya bahan panggedéna panggedéna saatos silikon sorangan. Tdana -unjah ieu ngan ukur diperkirakeun ku ningkat pikeun mérek pikeun semikonductor soor kana jangkungna anyar. Acara di Éropa parantos nyababkeun gangguan tambahan sareng pasar gas alami-tekanan tekanan tekanan tekanan. Ukraina mangrupikeun ékspor panggedéna di dunyanadatanda; Invasi Rusia hartosna pasokan gas anu jarang dibatesan. Ieu dina péngkolan lumpat sareng harga anu langkung luhur tina gas anu sanés sanés sapertoskrlioponjeungXenon.