Hidrogén kloridanyaéta gas anu teu warnaan kalayan bau anu nyeureud. Leyuran cai na disebut asam klorida, ogé katelah asam klorida. Hidrogén klorida leyur pisan dina cai. Dina suhu 0°C, 1 volume cai tiasa ngaleyurkeun sakitar 500 volume hidrogén klorida.

Éta ngagaduhan sipat sareng ciri-ciri ieu:

1. Kamurnian anu luhur

Kamurnian kelas éléktronikhidrogén kloridaluhur pisan, biasana dina tingkat ppm atanapi langkung handap, pikeun mastikeun yén teu aya pangotor anu lebet kana prosés manufaktur semikonduktor.

2. Inertness

Éta mangrupikeun gas inert sacara kimia anu henteu meta réaksi sareng seueur zat sanés, anu penting pisan pikeun nyegah kontaminasi bahan sareng peralatan semikonduktor.

3. Stabilitas anu luhur

Kelas éléktronikhidrogén kloridaumumna mibanda kimia anu stabil pikeun mastikeun pamrosésan semikonduktor anu tiasa dipercaya.

Dina pamrosésan semikonduktor, aplikasi utama hidrogén klorida kelas éléktronik di antarana:

1. Beberesih sareng persiapan permukaan

Salaku pembersih permukaan anu efisien, kelas éléktronikhidrogén kloridadianggo pikeun miceun oksida sareng pangotor tina permukaan substrat pikeun mastikeun kualitas sareng kamurnian lapisan atanapi pilem epitaksial.

2. Bantuan kamekaran épitaksial

Dianggo salaku agén perlakuan permukaan dina prosés epitaksial, éta ngabantosan ningkatkeun kualitas lapisan epitaksial, ningkatkeun cocog kisi, sareng ngirangan formasi cacad kisi.

3. Perawatan awal substrat

Sateuacan persiapan alat semikonduktor, kelas éléktronikhidrogén kloridabisa dipaké pikeun ngolah beungeut substrat pikeun ngabentuk dasar anu stabil pikeun ningkatkeun adhesi antara lapisan epitaxial sareng substrat.

4. Agen bantu déposisi

Dina prosés déposisi uap kimiawi (CVD) atanapi déposisi uap fisik (PVD), hidrogén klorida kelas éléktronik tiasa dianggo salaku média transfer fase gas pikeun ilubiung dina réaksi déposisi bahan semikonduktor.

5. Agen transfer fase gas

Salaku agén transfer fase gas, prékursor gas anu sanés diwanohkeun kana rohangan réaksi pikeun ngabantosan nyaluyukeun laju déposisi sareng keseragaman bahan.

Ciri-ciri ieu ngajantenkeun kelas éléktronikhidrogén kloridaagén pamrosésan anu penting dina téknologi semikonduktor, anu gaduh dampak konci kana kinerja sareng reliabilitas alat ahir.

Salian ti panggunaanana dina pamrosésan semikonduktor, hidrogén klorida kelas éléktronik tiasa mendakan rupa-rupa kagunaan di widang anu sanés, kalebet: Nyiapkeun bahan anu murni, Sél Bahan Bakar, Tumuwuhna bahan Semikonduktor, Litografi Fase Uap, Analisis Bahan, Panalungtikan Kimia.

Sacara umum, kelas éléktronikhidrogén kloridanyaéta gas serbaguna sareng kamurnian luhur anu gaduh rupa-rupa aplikasi di luar manufaktur semikonduktor.