Hidrogen kloridamangrupakeun gas teu warnaan jeung bau pungent. Leyuran cai na disebut asam hidroklorat, ogé katelah asam hidroklorat. Hidrogén klorida pisan leyur dina cai. Dina 0°C, 1 volume cai bisa ngabubarkeun kira-kira 500 jilid hidrogén klorida.

Cai mibanda sipat sarta ciri handap:

1. purity High

The purity tina kelas éléktronikhidrogén kloridakacida luhurna, biasana dina ppm atawa tingkat handap, pikeun mastikeun yén euweuh najis anu diwanohkeun kana prosés manufaktur semikonduktor.

2. Inertness

Ieu mangrupakeun gas inert kimiawi nu teu meta jeung loba zat séjén, nu pohara penting pikeun nyegah kontaminasi bahan semikonduktor jeung alat.

3. stabilitas High

Kelas éléktronikhidrogén kloridaumumna mibanda kimia stabil pikeun mastikeun processing semikonduktor dipercaya.

Dina pamrosésan semikonduktor, aplikasi utama hidrogén klorida kelas éléktronik nyaéta:

1. beberesih Surface jeung persiapan

Salaku hiji cleaner permukaan efisien, kelas éléktronikhidrogén kloridadipaké pikeun miceun oksida jeung pangotor tina beungeut substrat pikeun mastikeun kualitas sarta purity tina lapisan epitaxial atawa pilem.

2.Epitaxial tumuwuhna bantuan

Dipaké salaku agén perlakuan permukaan dina prosés epitaxial, éta mantuan pikeun ngaronjatkeun kualitas lapisan epitaxial, ngaronjatkeun cocog kisi, sarta ngurangan formasi defects kisi.

3. substrat pretreatment

Sateuacan persiapan alat semikonduktor, kelas éléktronikhidrogén kloridabisa dipaké pikeun ngubaran beungeut substrat pikeun ngabentuk basa stabil pikeun ngaronjatkeun adhesion antara lapisan epitaxial jeung substrat.

4. agén bantu déposisi

Dina prosés déposisi uap kimia (CVD) atanapi déposisi uap fisik (PVD), hidrogén klorida kelas éléktronik tiasa dianggo salaku medium transfer fase gas pikeun ngiringan réaksi déposisi bahan semikonduktor.

5. agén mindahkeun gas-fase

Salaku agén mindahkeun fase gas, prékursor gas séjén diwanohkeun kana chamber réaksi pikeun mantuan nyaluyukeun laju déposisi jeung uniformity tina bahan.

Ciri ieu ngajadikeun kelas éléktronikhidrogén kloridaagén processing penting dina téhnologi semikonduktor, nu boga dampak konci dina kinerja jeung reliabilitas alat final.

Salian pamakéan na di processing semikonduktor, éléktronik kelas hidrogén klorida bisa manggihan rupa-rupa kagunaan di wewengkon séjén, kaasup: Nyiapkeun bahan purity tinggi, Sél Suluh, tumuwuhna bahan semikonduktor, uap Phase Lithography, Analisis Bahan, Panalungtikan Kimia.

Sacara umum, kelas éléktronikhidrogén kloridamangrupakeun serbaguna, gas purity tinggi nu boga rupa-rupa aplikasi luar manufaktur semikonduktor.