Spésifikasi | 99,999% |
Oksigén + Argon | ≤1ppm |
Nitrogén | ≤4 ppm |
Kelembapan (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halokarbin | ≤1 ppm |
Total Kotoran | ≤10 ppm |
Karbon tetrafluorida nyaéta hidrokarbon halogénasi kalayan rumus kimia CF4. Ieu bisa dianggap salaku hidrokarbon halogénated, métana halogénated, perfluorocarbon, atawa salaku sanyawa anorganik. Karbon tetrafluorida nyaéta gas teu warnaan sareng teu bau, teu leyur dina cai, leyur dina bénzéna sareng kloroform. Stabil dina suhu sareng tekanan normal, nyingkahan oksidan anu kuat, bahan anu gampang kaduruk atanapi kaduruk. Gas non-combustible, tekanan internal wadahna bakal ningkat nalika kakeunaan panas tinggi, sareng aya bahaya retakan sareng ledakan. Éta sacara kimia stabil sareng henteu kaduruk. Ngan réagen logam amonia-natrium cair tiasa dianggo dina suhu kamar. Karbon tetrafluorida nyaéta gas anu nyababkeun éfék rumah kaca. Éta stabil pisan, tiasa cicing di atmosfir kanggo waktos anu lami, sareng mangrupikeun gas rumah kaca anu kuat pisan. Karbon tetrafluoride dipaké dina prosés etching plasma rupa sirkuit terpadu. Éta ogé dianggo salaku gas laser, sareng dianggo dina réfrigeran suhu rendah, pangleyur, pelumas, bahan insulasi, sareng pendingin pikeun detéktor infra red. Éta mangrupikeun gas etching plasma anu paling sering dianggo dina industri mikroéléktronik. Ieu mangrupakeun campuran tetrafluoromethane gas-purity tinggi na tetrafluoromethane gas-purity tinggi jeung oksigén-purity tinggi. Ieu bisa loba dipaké dina silikon, silikon dioksida, silikon nitrida, sarta kaca phosphosilicate. The etching bahan pilem ipis kayaning tungsten na tungsten ogé loba dipaké dina beberesih beungeut alat éléktronik, produksi sél surya, téhnologi laser, refrigeration-suhu low, inspeksi bocor, sarta detergent dina produksi sirkuit dicitak. Dipaké salaku refrigerant suhu-rendah sareng téknologi etching garing plasma pikeun sirkuit terpadu. Pancegahan pikeun neundeun: Simpen dina gudang gas anu teu kaduruk sareng tiis. Jauhkeun tina sumber seuneu sareng panas. Suhu neundeun teu kedah langkung ti 30 ° C. Eta kudu disimpen misah ti gampang (combustible) combustibles jeung oksidan, sarta ulah aya campuran gudang. Wewengkon panyimpen kedah dilengkepan ku alat perawatan darurat bocor.
① Refrigerant:
Tetrafluoromethane kadangkala dipake salaku refrigerant suhu low.
② Etching:
Hal ieu dianggo dina mikrofabrikasi éléktronik nyalira atanapi digabungkeun sareng oksigén salaku etchant plasma pikeun silikon, silikon dioksida, sareng silikon nitrida.
produk | Karbon TetrafluoridaCF4 | ||
Ukuran Paket | Silinder 40 Ltr | Silinder 50 Ltr | |
Ngeusian Beurat Net / Cyl | 30 Kg | 38 Kg | |
QTY Dimuat dina 20'Wadahna | 250 Cil | 250 Cil | |
Total Beurat Net | 7,5 ton | 9,5 ton | |
Silinder Tare Beurat | 50 Kg | 55kg | |
Klep | CGA 580 |
① Purity High, fasilitas panganyarna;
②Produsén sertipikat ISO;
③Pangiriman gancang;
④Sistem analisis on-line pikeun kadali kualitas dina unggal hambalan;
⑤Sarat High jeung prosés taliti pikeun nanganan silinder saméméh ngeusian;