Kagunaan tungsten héksafluorida (wf6)

Tungsten Hexafluorida (WF6) disimpen dina permukaan wafist ngalangkungan prosés CVD, ngeusian jumlah cv.

Hayu urang ngobrolkeun pikeun plasma heula. Plasma mangrupikeun bentuk masalah utamina diwangun ku éléktron bébas sareng ion béja. Éta aya seueur di jagat raya sareng sering dianggap salaku kaayaan kaopat. Hal ieu disebut kaayaan plasma, ogé disebut "Plasma". Polasma ngagaduhan kamampuan éléktris anu luhur sareng gaduh pangaruh tuluy anu kuat sareng lapangan éléktromagnétik. Éta gas sawaréh anu ionisasi, diwangun ku éléktron, ion, radikik gratis, partikel nétral, sareng foton. The Plasma sorangan mangrupikeun campuran nétral anu ngandung partikel aktif sareng kimia.

Penjelasan lempeng nyaéta dina tindakan énergi anu luhur, molekul kudu ngalatesan virh ngusir, kakuatan beungkeut kimia sareng gaya coulomb, sareng nampilkeun bentuk listrik nétral sacara gembleng. Dina waktos anu sami, énergi anu luhur dikedalkeun ku di luareun tumpukan luhur tilu kakuatan luhur. Ass fungsi, éléktron sareng ii nampilkeun kaayaan gratis, anu tiasa tiasa dianggo dina modulasi magnét, sapertos prosés etternal, pvd sareng prosés. Pvd sareng prosés.

Naon énergi anu luhur? Dina kéori, suhu tinggi sareng rf frekuas tinggi tiasa dianggo. Umumna nyarios, suhu luhur ampir teu mungkin pikeun ngahontal. Syaratna Subér Syaratna luhur teuing sareng tiasa caket sareng suhu matahari. Dasarna mustahil pikeun ngahontal dina prosés. Ku alatan éta, industri biasana ngagunakeun RF Ford Seueur pikeun diperyogikeun. Plasma Rf tiasa ngahontal langkung luhur salaku 13mhz +.

Tossten Hexaflaoridide nyaéta Plas katair handapeun tindakan lapangan listrik, teras uap disimpen ku médan magnét. Tuan w sami sareng bulu soang usum tiris sareng tumiba kana taneuh dina kaayaan gravitasi. Lalaunan, atom ditungtungan kana liang, sareng panungtungna ngeusi liang kanggo ngabentuk intercconnect logam. Salian titipan w atom dina ngaliwatan liang, bakal ogé disimpen dina beungeut wafer? Leres, pasti. Sacara umum, anjeun tiasa nganggo prosés W-CMP, anu kami nyebut prosés ngagiling mékanis kanggo ngaleungitkeun. Sarua éta nganggo sapu kanggo nyapu lantai saatos salju. Salju dina taneuh disapu, tapi salju dina liang dina taneuh bakal tetep. Turun, kasarna sami.